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现行 GB/T 30453-2013
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硅材料原生缺陷图谱 Metallographs collection for original defects of crystalline silicon
发布日期: 2013-12-31
实施日期: 2014-10-01
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片等各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷术语及其形貌特征等
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