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光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
发布日期:
2013-11-12
实施日期:
2014-04-15
分类信息
发布单位或类别:
中国-国家标准
CCS分类:
H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料
ICS分类:
29.045电气工程 - 半导体材料
关联关系
研制信息
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:
信息产业专用材料质量监督检验中心、
中国电子技术标准化研究院、
国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、
天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人:
何友琴、
马农农、
王东雪、
何秀坤、
裴会川、
冯亚彬
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光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
Test method for measuring surface metallic contamination of silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry
2013-11-12
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