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现行 GB/T 34697-2017
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含氟蚀刻废液处理处置方法 Treatment and disposal method for spent fluoric etchant
发布日期: 2017-11-01
实施日期: 2018-05-01
本标准规定了含氟蚀刻废液组成、处理处置方法及环境保护要求。本标准适用于TFT-LCD液晶显示屏玻璃蚀刻、光伏行业蚀刻、IC硅片蚀刻、电极箔蚀刻及稀土蚀刻所产生含氟蚀刻废液的处理处置
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