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现行 T/CNIA 0016-2019
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多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法
发布日期: 2019-02-13
实施日期: 2019-06-01
主要技术内容:本标准规定了多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用回收氢气的氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定,测定范围为(0-10000)×10-6
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