表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
发布日期：
2016-10-13
实施日期：
2017-09-01
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为1nm～10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫
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