T/SZBX 080-2022-相移式激光干涉仪-国家数字标准馆

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相移式激光干涉仪

发布日期： 2022-05-20

实施日期： 2022-05-30

范围:本文件适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差、平面平晶平面度、透过波前、光学均匀性的相移式激光干涉仪（以下简称仪器）;
主要技术内容:本文件规定了相移式激光干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： N仪器、仪表

ICS分类： 17.180.30光学和光学测量 - 光学测量仪器

关联关系

研制信息

归口单位：苏州市标准化协会

起草单位：本文件起草单位：苏州慧利仪器有限责任公司、德凯质量认证（上海）有限公司、苏州市质量和标准化院

起草人：本文件主要起草人：韩森、李雪园、王全召、庄锦程

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