T/ICMTIA ESG0019-2022-集成电路用气体二氟甲烷-国家数字标准馆

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集成电路用气体二氟甲烷

发布日期： 2022-05-10

实施日期： 2022-05-31

主要技术内容:本文件规定了电气特气二氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用二氟甲烷提纯得到的电子特气二氟甲烷

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 01.020综合、术语学、标准化、文献 - 术语学(原则和协调配合)

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司

起草人：傅铸红、陈艳珊、叶相平、林百志、张奎、龚施健、赖金香、于胜、陈金彬

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