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SJ 21258-2018
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干法刻蚀设备工艺验证方法
Technological verification procedures for dry etching equipment
发布日期：
2018-01-18
实施日期：
2018-05-01
本标准规定了干法刻蚀设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。
本标准适用于干法刻蚀设备(以下简称刻蚀设备)的工艺性能的验证
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地 址：北京市海淀区知春路4号
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