光刻用石英玻璃晶圆
Quartz glass wafer for lithography
发布日期：
2017-09-07
实施日期：
2018-08-01
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS) 、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆
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