SJ 21254-2018-双面光刻机工艺验证方法-国家数字标准馆

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双面光刻机工艺验证方法 Technological verification procedures for double side mask aligner

发布日期： 2018-01-18

实施日期： 2018-05-01

本标准规定了双面光刻机工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。
本标准适用于双面光刻机(以下简称光刻机) 工艺性能的验证

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

关联关系

研制信息

归口单位：工业和信息化部电子第四研究院

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