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外延钉缺陷的检验方法 Test methods for spike of epitaxial layers
发布日期: 2016-04-05
实施日期: 2016-09-01
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。 本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于 4μm 的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连,可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度
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