T/CNIA 0101-2021-绿色设计产品评价技术规范碳化硅单晶抛光片-国家数字标准馆

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绿色设计产品评价技术规范碳化硅单晶抛光片

发布日期： 2021-03-19

实施日期： 2021-09-01

主要技术内容:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中国有色金属工业协会

起草单位：本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价

起草人：彭同华、佘宗静、赵宁、王波、杨建、王大军、刘祎晨、陈鹏、邹宇、张平、马远

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