SJ 21255-2018-单片旋转显影设备工艺验证方法-国家数字标准馆

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单片旋转显影设备工艺验证方法 Technological verification procedures for single wafer spinning developing equipment

发布日期： 2018-01-18

实施日期： 2018-05-01

本标准规定了单片旋转显影设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。
本标准适用于单片旋转显影设备(以下简称显影设备〉工艺性能的验证

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

关联关系

研制信息

归口单位：工业和信息化部电子第四研究院

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