SJ/T 11883-2022-扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法-国家数字标准馆

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扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法

发布日期： 2022-10-20

实施日期： 2023-01-01

适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

CCS分类： L97电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 加工专用设备

关联关系

研制信息

归口单位：中国电子技术标准化研究院

起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所

起草人：张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜

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