GB/T 29506-2013-300mm 硅单晶抛光片-国家数字标准馆

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300mm 硅单晶抛光片 300mm polished monocrystalline silicon wafers

发布日期： 2013-05-09

实施日期： 2014-02-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H82冶金 - 半金属与半导体材料 - 元素半导体材料

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人：闫志瑞、孙燕、盛方毓、卢立延、张果虎、向磊

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