电子特气 三氟化氮
Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
发布日期：
2021-10-11
实施日期：
2022-05-01
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮
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