DB53/T 501-2013-多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定电感耦合等离子体质谱法-国家数字标准馆

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多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定电感耦合等离子体质谱法

发布日期： 2013-08-01

实施日期： 2013-10-01

本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定

分类信息

发布单位或类别：中国-云南省地方标准

CCS分类： G10化工 - 无机化工原料 - 无机化工原料综合

ICS分类： 71.040.40分析化学 - 化学分析

关联关系

研制信息

归口单位：云南省质量技术监督局

起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司

起草人：赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月

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