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现行 T/CAMS 173-2023
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硅基压阻式压力传感器老炼试验方法
发布日期: 2023-09-25
实施日期: 2023-11-01
范围:本文件适用于硅基压阻式压力传感器老炼试验的开展,传感器类型主要包括绝压、表压及差压等; 主要技术内容:本文件规定了硅基压阻式压力传感器老炼试验方法的试验要求、试验条件、试验项目及步骤、故障处理及数据处理及结果分析等内容
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