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多晶硅用三氯氢硅
发布日期：
2013-08-01
实施日期：
2013-10-01
本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅
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