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作废 GB/T 36306-2018
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洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南 Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control
发布日期: 2018-06-07
实施日期: 2018-10-01
废止日期: 2024-10-01
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。不适用核能和军事应用
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