激光衍射法反射光栅校准规范
Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction
发布日期：
2022-04-29
实施日期：
2022-10-29
本规范适用于平均间距为(140～2000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准
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