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现行 KS C IEC 60204-33-2010(2020)
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반도체 제조장비의 안전지침 安全指南半导体制造设备
发布日期: 2010-09-10
该标准适用于与半导体的制造(工艺)、测量、组装及试验的半导体制造设备相关的机械类电气及电子设备。备注1在该标准中,电气包括电气、电子(例如,电气设备意味着电气及电子设备)。备注2该标准的文脉上,“人(person)”是指由负责该机器使用及管理的代理人或使用者指定并接受培训的人(们)。
이 표준은 반도체의 제조(공정), 측정, 조립 및 시험을 위한 반도체 제조장비와 관련된 기계류의 전기 및 전자장비에 적용된다. 비고 1 이 표준에서 전기라 함은 전기, 전자 모두를 포함한다(예:전기 장비라 함은 전기 및 전자 장비 모두를 의미). 비고 2 이 표준의 문맥상, 사람(person)이라 함은 당해 기계의 사용 및 관리를 맡은 대리인 또는 사 용자에 의하여 지정되어 교육받은 사람(들)을 말한다.
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