GB/T 31227-2014-原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法-国家数字标准馆

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原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

发布日期： 2014-09-30

实施日期： 2015-04-15

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： J04机械 - 机械综合 - 基础标准与通用方法

ICS分类： 17.040.20长度和角度测量 - 表面特征

关联关系

研制信息

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会

起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人：李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰

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《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

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