硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size
发布日期：
2016-04-05
实施日期：
2016-09-01
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在（111）、(100) 和(110) 晶向的硅单晶衬底上生长的 2μm～120μm硅外延层厚度的测量
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