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SJ 21256-2018
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溅射镀膜设备工艺验证方法
Technological verification procedures for film sputtering equipment
发布日期：
2018-01-18
实施日期：
2018-05-01
本标准规定了溅射镀膜设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。
本标准适用于离子束溅射及磁控溅射镀膜设备(以下简称镀膜设备)工艺性能的验证
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