SJ/T 11762-2020-半导体设备制造信息标识要求-国家数字标准馆

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半导体设备制造信息标识要求

发布日期： 2020-12-09

实施日期： 2021-04-01

适用于半导体设备制造信息标识

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合

ICS分类： 31.080.01半导体分立器件 - 半导体器分立件综合

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司

起草人：冯亚彬、程朝阳、钟华

相似标准/计划/法规

IEC 60204-33-2009

Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
机械安全 - 机器电气设备 - 第33部分:半导体制造设备的要求

JIS B 9960-33-2012

Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
机械安全机械电气设备第33部分:半导体制造设备要求

BS 07/30153021 DC

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DIN IEC 60204-33-DRAFT

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英国标准EN 60204-33 机械安全机器的电气设备第33部分半导体制造设备的要求

DIN EN 60204-33

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机械安全.机械电气设备.第33部分:半导体制造设备的要求（IEC 60204-33-2009 修改）；德文版EN 60204-33:2011

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