主要技术内容:4  概述4.1  原理GAM500气体分析仪的工作原理是：通过进样系统将待校准气体引入质谱分析室中，质谱仪将待测气体离子化，按离子的质荷比进行分离，通过检测各离子的丰度（即质谱峰强度）可实现物质分析。4.2  构造GAM500 气体分析仪由质谱分析系统、循环取样系统、冷却系统、驱动气系统等组成。质谱分析系统主要由四极质谱计及真空系统组成，可对多种示漏介质进行分析检测；循环取样系统主要由显示单元、比较气室和循环泵等组成，可控制并显示测试过程并将收集室、比较气室的气体送入质谱分析系统进行分析；冷却系统为质谱分析系统的分子泵提供循环冷却水；驱动气系统为质谱分析系统的各气动阀门进行供气。GAM500气体分析仪原理图见图1。图1  GAM500气体分析仪原理图4.3  用途GAM500 气体分析仪可在大气环境下对充入 He、Kr 或 CF4 等不同示漏气体的多个密封系统同时进行总漏率测试。5  计量特性最小可检漏率6  校准条件6.1  环境条件a)　环境温度：23℃±5℃；b)　相对湿度：≤80%；c)　周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动。6.2  校准用气体纯度不低于99.9%、临界温度不高于0℃、无毒、无腐蚀性、非易燃气体。6.3  校准用设备校准所用仪器设备应经过计量技术机构校准，并在有效期内。校准用仪器设备及性能要求见表1。表1 校准用仪器设备及性能要求序号　仪器设备名称　技术要求1　电容薄膜真空计　测量范围：100kPa～100Pa，最大允许误差：±1.5%；测量范围：100～0.01Pa，最大允许误差：±2%。；2　小孔流导元件　测量范围：(1×10-2～1×10-8)m3/s最大允许误差：±10%7  校准项目最小可检漏率。8  校准方法8.1  校准原理GAM500气体分析仪采用气体微流量计校准，气体微流量计的气体流量采用固定流导法测量，其计算公式为：?Q  = pC                                      (1)式中：Q——标准气体微流量，Pa?m3/s；p——小孔流导元件的入口压力，Pa；C——小孔流导元件的流导值，m3/s。将气体微流量计提供的已知流量的示漏气体引入到GAM500气体分析仪中，通过比较标准流量值与其在GAM500气体分析仪上对应的示值实现校准。GAM500气体分析仪的校准原理图见图2。1—气体微流量计（虚线框内的部分），2—高纯气体，3、5、9—阀门，4—抽气系统，6—真空室，7—压力计，8—限流元件。图2  GAM500气体分析仪校准原理图8.2  校准步骤8.2.1  校准前准备a)　将气体微流量计通过阀门9和GAM500气体分析仪连接。b)　启动GAM500气体分析仪，稳定1h以上，使其处于正常工作状态；c)　启动抽气系统4，打开阀门5、3和9，将真空室及连接管路抽至本底。8.2.2  校准步骤a) 关闭阀门9，测量并记录GAM500气体分析仪的本底示值 和噪声 ， 和 均取一段时间内的平均值，测量时间应大于等于1min；b) 打开阀门9，调节气体微流量计，向GAM500气体分析仪输入特定的示漏气体流量 （一般在（1×10-8～1×10-9）Pa?m3/s之间），待GAM500气体分析仪的示值稳定后，记录其示值 。c) 重复上述步骤，测量n组数据（n≥6）。8.2.3  数据处理单次测得的被校准GAM500气体分析仪的最小可检漏率 按公式（2）计算：（2）式中：—第 次测量的GAM500气体分析仪的最小可检漏率，Pa?m3/s；—第 次GAM500气体分析仪的噪声，Pa?m3/s；—第 次GAM500气体分析仪的示值，Pa?m3/s；—第 次GAM500气体分析仪的本底，Pa?m3/s；—标准流量值，Pa?m3/s。GAM500气体分析仪最小可检漏率的算术平均值由公式（3）计算，作为GAM500气体分析仪最小可检漏率的校准值：（3）式中：—被校准GAM500气体分析仪的平均最小可检漏率，Pa?m3/s；—测量次数。9  校准结果表达经校准的GAM500气体分析仪，应给出最小可检漏率值及其相对扩展不确定度。原始记录内页格式参见附录B，校准证书内页格式参见附录C。10  复校时间间隔GAM500气体分析仪的复校时间间隔一般不超过12个月