20242284-T-491-高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法-国家数字标准馆

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高深宽比微结构形态参数近红外显微干涉测量方法 Near-infrared microscopic interferometry method for morphological parameters of high aspect ratio microstructures

下达日期： 2024-07-25

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准计划

ICS分类： 17.180.99光学和光学测量 - 有关光学和光学测量的其他标准

关联关系

研制信息

归口单位：全国光电测量标准化技术委员会

起草单位：南京理工大学、上海市计量测试技术研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司、中国科学院微电子研究所、中国计量科学研究院、中国科学院空天信息创新研究院、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司、南京智群光电技术有限公司

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