SJ 21384-2018-氧化层可动电荷的电容-电压测试方法-国家数字标准馆

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氧化层可动电荷的电容-电压测试方法 Test method of capacitance-voltage for mobile ion charge of oxides

发布日期： 2018-01-18

实施日期： 2018-05-01

本标准规定了在集成电路制造过程中，氧化层可动电荷采用电容-电压测试的方法。
本标准适用于在集成电路制造过程中，通过金属-氧化物-半导体(MOS)电容器的电容-电压(以下简称CV)曲线来测试氧化层的可动电荷密度

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

关联关系

研制信息

归口单位：工业和信息化电子第四研究院

起草单位：工业和信息化电子第四研究院、中国电子科技集团第五十八研究所、中国航天集团公司第九研究院第七七一研究所、北京燕东微电子有限公司、中国电子科技集团公司第二十四研究所、西安电子科技大学、勤智数码科技股份有限公司

起草人：罗晓羽、顾祥、王金莲、王晨杰、张彦秀、黄磊、王志宽、贾新章、游海龙、尹航、李锟、廖昕、赖庆华

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