T/ZZB 2283-2021-半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉-国家数字标准馆

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半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

发布日期： 2021-08-26

实施日期： 2021-09-26

主要技术内容:本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5 N（99.999 wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： Q53建材 - 炭素材料 - 特殊炭素材料

ICS分类： 29.050电气工程 - 导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：浙江省质量协会

起草单位：本文件由浙江省标准化研究院牵头组织制定。本文件主要起草单位：中钢新型材料股份有限公司。本文件参与起草单位：冶金工业信息标准研究院

起草人：本文件主要起草人：杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙

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