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现行 T/CEMIA 025-2021
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光伏电池片制程用石英管
发布日期: 2021-08-01
实施日期: 2021-12-25
范围:本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存要求。 本文件适用于以高纯石英砂(二氧化硅)为原料,采用连续电熔工艺生产石英母管,并将其直径扩大到300mm~600mm,用于光伏电池片扩散和化学气相沉积等制程用石英玻璃管; 主要技术内容:本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存要求。本文件适用于以高纯石英砂(二氧化硅)为原料,采用连续电熔工艺生产石英母管,并将其直径扩大到300mm~600mm,用于光伏电池片扩散和化学气相沉积等制程用石英玻璃管
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