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洁净室及相关受控环境 第 12 部分: 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
发布日期: 2021-10-11
实施日期: 2022-05-01
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1:本文件提及的“纳米尺度粒子"是指所有在1维上(纳米片),2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。 注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。 注3:本文件未考虑健康与安全事项
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