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现行 YS/T 1068-2015
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制备钌靶用钌粉 Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)
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