GB/T 44839-2024-微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法-国家数字标准馆

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微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials

发布日期： 2024-10-26

实施日期： 2025-02-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件

ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件

关联关系

研制信息

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

起草单位：中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司

起草人：周维虎、李根梓、孙宏霖、刘胜、霍树春、高成臣、刘景全、陈立国、杨剑宏、陈志文、焦斌斌、黄庆安、聂萌、张平平、陈晓梅、卢永红、陈思、王冰、谢红梅、刘志广

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