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现行 T/CSTM 00313-2021
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基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
发布日期: 2021-10-18
实施日期: 2022-01-18
范围:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性,并以此反演出膜层光学常数的测试方法。 本文件适用于50nm~5000nm的介质光学薄膜和基片,薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物,基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体; 主要技术内容:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性,并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm~5000nm的介质光学薄膜和基片,薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物,基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体
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