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半导体材料专用加工刀具
发布日期: 2023-10-23
实施日期: 2023-10-31
范围:本文件适用于半导体材料专用加工刀具; 主要技术内容:本文件规定了半导体材料专用加工刀具的术语和定义、分类、基本要求、工艺流程、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺内容
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