范围:本文件规定了橡胶表面碳薄膜制备及评价方法，包含制备前处理、制备方法、摩擦、磨损、结合力等。 本文件适用于各类零部件，包括丁腈橡胶、氢化丁腈橡胶、乙丙橡胶、硅橡胶等表面碳薄膜的质量、性能检测、工艺验证等，也适用于相似环境下的零部件表面碳薄膜; 主要技术内容:碳薄膜 carbon film一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料，主要元素成分是碳和氢，具有高硬度和独特摩擦特性。橡胶动密封件 rubber dynamic seal一类具有可逆形变、无定型结构的高弹性聚合物材料，是密封装置中的一类通用基础元件，其在运动过程中通过变形提供接触压力，补偿泄漏间隙，达到密封和防止液态或气体泄露的目的。6　碳薄膜制备碳薄膜制备参考见表3。橡胶表面碳薄膜采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）或磁控溅射制备技术示例,详见附录A。8　工件镀膜前处理技术要求镀膜前检测肉眼观测：a)工件外观无异色；b)工件无明显划伤。显微镜观察:a)无划痕；b)无裂纹等缺陷。镀膜前清洗对于橡胶的待镀膜表面，在严格去污渍和氧化物时，应一直采取可靠的低温保护和防止橡胶溶胀措施，在镀膜前确保橡胶表层和次表层杂质去除干净，详见附录B。工件的装载应在超净环境中进行装配；工作人员应穿洁净工作服，戴干净双层白色细纱手套或乳胶手套；必要时用专用工具夹持工件并防止损伤工作面。装配时应将工件逐一平稳地推或压入安装位置，不应通过工件传递装配载荷，防止用锤子或重物敲打和避免工件的相互挤压