范围:本文件描述了采用透射电子显微镜法对微纳米异质结构样品的形貌、成分及结构进行测量及分析的方法，包括原理、仪器设备、样品制备及步骤。 本文件适用于具有异质结构的微纳米尺度的粉体样品和薄膜样品，包含具有表面改性层、晶体界面层等微纳米异质结构材料的分析; 主要技术内容:微纳米异质结构的形貌、结构、成分以及界面等往往与材料的宏观性能密切相关，因此对微纳米异质结构样品多方面的准确分析显得尤为重要。透射电子显微镜是采用透过样品的电子束成像来显示样品内部形态与结构的表征设备，其配备扫描透射附件、能谱附件后更能对样品结构、成分进行较精确的分析，尤其适用于微纳米异质结构样品，可实现微纳米异质结构的形貌、结构、成分和界面的一体化表征。近年来随着透射电子显微镜分辨率的不断提高，可配备探测器的多样化，以及样品制备技术手段的提升，使得采用透射电子显微镜对微纳米异质结构样品的分析具有更广泛的适用性和有效性