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现行 KS I ISO 14644-3-2021
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클린룸 및 제어된 환경 —제3부: 시험 방법 洁净室和相关受控环境.第3部分:试验方法
发布日期: 2021-12-27
该标准提供了支持洁净室和洁净区运营的试验方法,包括空气洁净度等级分类、其他洁净度特性及满足控制条件的洁净室和洁净区。
이 표준은 공기 청정도 등급분류, 기타 청정도 특성 및 제어된 조건을 충족하는 클린룸과 청정구역의 운영을 지원하는 시험 방법을 제공한다.
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