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전도성 세라믹 박막의 비저항 측정방법 — 반데르포우법 范德波法测量导电陶瓷薄膜电阻率的试验方法
发布日期: 2013-10-26
该标准规定了如何用Van der Pauw法测试导电陶瓷薄膜的比电阻。适用的非电阻范围为(1× 10-5)在Wcm(1× 10 2)用Wcm。
이 표준은 전도성 세라믹 박막의 비저항을 반데르포우(Van der Pauw)법에 의해 시험하는 방법에 대하여 규정한다. 적용 가능한 비저항의 범위는 (1 × 10 -5 ) Wcm에서 (1 × 10 2 ) Wcm로 한다.
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