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电子气体 乙硼烷/氮气混合气体
发布日期：
2024-08-01
实施日期：
2024-11-01
主要技术内容:本文件规定了电子气体乙硼烷/氮气混合气体的技术要求、制备、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输及安全信息。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的乙硼烷/氮气混合气体
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