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现行 KS I ISO 14644-15-2019
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클린룸 및 제어된 환경 — 제15부: 공기 중 화학물질 농도에 따른 사용 장비 및 자재 적합성 평가 洁净室和相关的受控环境.第15部分:用空气中的化学浓度评估设备和材料的适用性
发布日期: 2019-06-13
该标准为根据化学物质浓度对洁净度等级进行ISO标准相关的洁净室及预计在受控环境中使用的设备和材料在化学空气中的洁净度提供了评价要求条件和指南。
이 표준은 화학물질 농도에 따른 청정도 등급에 대한 ISO 표준과 관련된 클린룸 및 제어된 환경에서의 사용이 예상되는 장비와 자재의 화학적인 공기 중 청정도를 평가하는 요구조건과 지침을 제공한다.
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