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集成电路用气体 乙烯
发布日期： 2022-05-10
实施日期： 2022-05-31
主要技术内容:本文件规定了集成电路用乙烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用乙烯提纯得到的集成电路用乙烯
分类信息
发布单位或类别： 中国-团体标准
ICS分类： 01.020综合、术语学、标准化、文献 - 术语学(原则和协调配合)
关联关系
研制信息
归口单位： 中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草单位： 广东华特气体股份有限公司、 福建德尔科技股份有限公司、 福建博纯材料有限公司、 江西华特电子化学品有限公司
起草人： 傅铸红、 叶相平、 陈艳珊、 曾熙、 张晓明、 徐孝天、 傅玉榕、 龚施健、 陈金彬、 于胜
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