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金属锗化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
Method for chemical analysis of metal germanium—Part 3: Determination of trace impurity elements content—Glow discharge mass spectrometry
发布日期:
2022-12-30
实施日期:
2023-04-01
分类信息
发布单位或类别:
中国-国家标准
CCS分类:
H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类:
77.040冶金 - 金属材料试验
关联关系
研制信息
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:
安徽光智科技有限公司、
云南驰宏锌锗股份有限公司、
国标(北京)检验认证有限公司、
云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、
东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司、
有研国晶辉新材料有限公司、
广东先导稀材股份有限公司、
广东飞成新材料有限公司
起草人:
朱赞芳、
谭秀珍、
廖吉伟、
刘红、
吴王昌、
黎亚文、
李瑶、
刘英波、
李正美、
崔丁方、
李江霖、
段春芳
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