洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
发布日期:
2018-06-07
实施日期:
2018-10-01
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05μm~500μm的粒子
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