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  • 发布时间
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 42895-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
未生效
GB/T 44849-2024
微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-10-26
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 44842-2024
微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Bend testing methods of thin film materials
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-10-26
CCS分类:L59微型组件