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T/BHEA 1001-2022
总部经济高质量发展示范企业评价规范
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-12-28
CCS分类：A02经济管理
现行
T/ZOIA 30001-2022
MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-12-29
未生效
GB/T 44839-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-10-26
CCS分类：L59微型组件
正在批准
20221868-T-469
微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
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Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2022-12-30
CCS分类：L59微型组件
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