登 录
注 册
个人中心
退出账号
首页
馆藏资源
舆情信息
标准服务
科研活动
关于我们
国家标准
行业标准
地方标准
团体标准
国际（区域）标准
国外国家标准
国际性专业标准
技术法规
国内舆情
国际舆情
文献服务
知识服务
服务站点
标准数字化
技贸措施研究
国家标准馆
国家数字标准馆
发展大事记
搜索
高级检索
批量检索
高级检索
起草单位: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
标准层级
全部
国家标准
行业标准
地方标准
团体标准
国际（区域）标准
国外国家标准
国际性专业标准
技术法规
国家
全部
中国(12)
标准组织
全部
电子(8)
国家标准(2)
国家标准研制计划(1)
团体标准(1)
发布年代
全部
2023(1)
2018(6)
2013(1)
2012(2)
2008(1)
2007(1)
标准状态
全部
现行(11)
ICS
全部
13环保、保健和安全(1)
31电子学(3)
CCS
全部
L电子元器件与信息技术(3)
展开全部分类
排序结果：
相关性
标准号
发布时间
现行
SJ 20974-2007
钟罩式高温烧结炉通用规范
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
General specification for high temperature sintering elevator furnace
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2007-07-14
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 20984-2008
化学气相淀积(CVD)设备通用规范
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
General specification for chemical vapor deposition(CVD) equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2008-04-15
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 21256-2018
溅射镀膜设备工艺验证方法
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
Technological verification procedures for film sputtering equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 21257-2018
离子束溅射镀膜设备通用规范
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
General specification for ion beam film sputtering equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 21258-2018
干法刻蚀设备工艺验证方法
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
Technological verification procedures for dry etching equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 21259-2018
抛光设备工艺验证方法
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
Technological verification procedures for polishing equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 21260-2018
金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
Technological verification procedures for metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
SJ 21324-2018
激光缝焊机通用规范
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
General specification forlaser beam welding equipment
发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
GB/T 15862-2012
离子注入机通用规范
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
General specification of ion implantation equipment
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2012-11-05
CCS分类：
L97加工专用设备
ICS分类：
31.200集成电路、微电子学
暂缓
20130144-T-469
卧式扩散炉恒温区在线检测方法
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
Test Method for In-line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnaces
发布单位或类别：
国家标准计划
下达日期：
2013-08-01
CCS分类：
L95电子工业生产设备综合
ICS分类：
31.220电子电信设备用机电元件
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火，禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
取消
确认预约到馆
搜索
首页
馆藏资源
舆情信息
标准服务
科研活动
关于我们
️版权归中国标准化研究院所有