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发布时间
现行
T/IAWBS 019-2023
半导体设备前端模块
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-11-13
CCS分类：
CCS
ICS分类：
现行
SJ/T 11883-2022
扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2022-10-20
CCS分类：
L97加工专用设备
ICS分类：
未生效
T/CHPSA YY004-2024
超洁净气动波纹管泵
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团体标准
发布日期：
2024-11-01
CCS分类：
ICS分类：
23.020.01流体存储装置综合
未生效
T/CHPSA YY005-2024
半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求
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团体标准
发布日期：
2024-11-01
CCS分类：
ICS分类：
23.020.01流体存储装置综合
未生效
T/CHPSA YY003-2024
超洁净磁悬浮泵
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-11-01
CCS分类：
ICS分类：
23.020.01流体存储装置综合
现行
SJ/T 11451-2022
扩散炉能源消耗规范
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2022-10-20
CCS分类：
L97加工专用设备
ICS分类：
现行
T/CIE 132-2022
磁控溅射设备薄膜精度测试方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-08-10
CCS分类：
ICS分类：
23.160真空技术
现行
T/CPIA 0065-2024
异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-03-10
CCS分类：
ICS分类：
27.160太阳能工程
现行
SJ/T 11763-2020
半导体制造设备人机界面规范
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2020-12-09
CCS分类：
L95电子工业生产设备综合
ICS分类：
13.180人类工效学
现行
T/CPIA 0059-2024
晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-03-10
CCS分类：
ICS分类：
27.160太阳能工程
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火，禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
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