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起草单位: 华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）
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GB/T 44514-2024
微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-09-29
CCS分类：L59微型组件
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GB/T 44517-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-09-29
CCS分类：L59微型组件
未生效
GB/T 44849-2024
微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-10-26
CCS分类：L59微型组件
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